Almatec FUTUR半導(dǎo)體輸送泵

自1991年以來，Almatec制造了FUTUR氣動隔膜泵，專為半導(dǎo)體行業(yè)的化學(xué)品輸送和循環(huán)而設(shè)計(jì)。半導(dǎo)體工業(yè)中處理的液體具有不同的要求，需要獨(dú)特的泵來滿足這些要求。FUTUR泵是自吸式氣動隔膜泵，可以干運(yùn)行。設(shè)計(jì)緊湊簡單，部件少。外殼部件由固體塑料塊加工而成。

應(yīng)用：
● 半導(dǎo)體
● 高溫應(yīng)用
● 高純度化學(xué)品

特點(diǎn)與優(yōu)勢：
● 專為半導(dǎo)體行業(yè)設(shè)計(jì)
● 100％無金屬塑料泵
● 流體通道內(nèi)沒有O型圈密封
● 流通式設(shè)計(jì)
● 沒有金屬固定件，如拉桿或卡箍
● 可提供集成的脈沖阻尼器
● 在凈室內(nèi)組裝
● 運(yùn)行噪音小
● 易于組裝和拆卸
● 緊湊型
● 沒有金屬固定件，如拉桿或卡箍

技術(shù)規(guī)格：
● 機(jī)加工塑料設(shè)計(jì)，聚乙烯（PE）和特氟龍（PTFE）
● 優(yōu)化的特氟龍（PTFE）隔膜技術(shù)
● 4種可選尺寸：從10mm (3/8 in.) 到 32mm (1-1/4 in.)
● NPT 接口
● 最高耐受溫度：200° C (390° F)
● 精確的流體輸送

性能數(shù)據(jù)：
● 最大流量：100 L/min (26 gpm)
● 最大吸升高度：4m干吸(13.1ft)，9m濕吸(29.5ft)

泵浦的技術(shù)資料
泵浦尺寸	10	20	50	100	200
出入口尺寸(NPT)	3/8"	1/2"	1"	1 1/4"	1 1/2"
氣源入口尺寸(NPT)	1/4"	1/4"	1/4"	1/4"	3/8"
Air classification 符合 ISO-DIS 8573-1：顆粒成分　等級水成分　等級油成分　等級	2 3 3	2 3 3	2 3 3	2 3 3	2 3 3
自吸能力，乾 (mWC)	1	2.5	3.5	4	4.5
自吸能力，溼 (mWC)	8	9	9	9	9
最大耐壓力 (bar)	6	6	6	6	6

最大操作溫度(°C)
泵浦型號	FUTUR H	FUTUR T	FUTUR E	FUTUR S
at max. 6 bar	100	100	70	130
at max. 5 bar	130	110	70	130
at max. 4 bar	150	120	70	130
at max. 3 bar	180	130	70	130
at max. 2 bar	200	130	70	130

泵浦尺寸
泵浦尺寸	10	20	50
長/寬/高 (mm) 泵浦型號 H, T, E 泵浦型號 S	185×114×130 ---	201×150×167 201×124×153	246×200×222 246×170×205

泵浦尺寸
泵浦尺寸	100	200
長/寬/高 (mm) 泵浦型號 H, T, E 泵浦型號 S	303×260×265 ---	374×330×345 ---

搭配脈衝吸收器的泵浦
泵浦尺寸	10	20	50
長/寬/高 (mm) 泵浦型號 H, T, E 泵浦型號 S	185×114×245 ---	201×150×282 201×124×265	246×200×354 246×170×327

搭配脈衝吸收器的泵浦
泵浦尺寸	100	200
長/寬/高 (mm) 泵浦型號 H, T, E 泵浦型號 S	303×260×248 ---	374×330×577 ---

ALMATEC 保證此性能數(shù)據(jù)，經(jīng)過 DIN 1944, Stage III 認(rèn)證，此資料為以水測試。

上海法爾泵業(yè)有限公司

Almatec FUTUR半導(dǎo)體輸送泵